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电子光学净化车间的规划制作的意图,是要对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需求进行控制。
一、分包施工
电子光学半导体等净化车间厂房内施工是归纳性项目,专业众多,涉及到制冷、供热、纯水、压空、真空、空调、工艺∮冷却水、氮气、氧气、消防、变配电、自控、通讯、净化装修等,每个专业都不可或缺,每个专→业又对其他专业及归纳工程产生影响,切忌各个专业各自为营,建议一致协调,采用EPC总承揽方法Ψ 进行施工。
二、净化空调设备
净化车间,尤其是电子光学净化车间,换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次。换气次数、新风量的高要求,因而新风处理所需冷量耗费大;送风量大,运送动★力耗费大,风机※管道温升高;生产设备的发热量大,耗费冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。
因而,净化空调体系节能办法应从削减新风量(削减排风量);控制送风量(合理确认换气次数);充分〓利用回风量;挑选低阻力高效率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。挑选合适净化空调设备,成为电子光学净化车间规划、制作及后期运转的关ζ 键要素,一定要严厉¤关注。
三、静电
静电容易引◤起电子设备故障,导致电磁搅扰;促进电路和电子元件老化;吸附尘埃,降低成品◇率。电子光学净化车间,从开始规划,就需求给静电安排满意的重视,这是每一个暖通工程师的基本内容。可是,许多工程师只︽从温湿度上下手,而疏忽了其ω他方法的应用。
一般常见的以为高湿度能够解决静电问题,因而不用考虑其它降低静电产生的方法,事实上是不正确的。高湿度虽能够将洁净车间产生之静电「降低到人体无法触摸感应到,可是仍足以将灵敏组件毁损①。因而,除了给满意的湿度以外,必须采取适※当的防护办法,如导电地板、导电蜡等;洁净车间人员须穿上具静电散失材质鞋底的静电鞋,穿防静电服装。除了这些,还能够在净化车间进口安装除静电装置,最大程度上削减静电的损害。
四、盲目推高洁净度
净化车间的╲造价,受多方面要↑素影响,如品牌定位、职业、净化等级、空调及末端体系①、地面资料、隔间资料、天花板资料、照度等。以电子光学净化车间为例,净化等级越高,其他相应的定位也会随之提高。
电子光学净化车间的规划制作,不是一『了百了,而是长期的本钱开销。同理,净化等级越高,后期的运转、保护本钱也相应提高。净化等级』的定位应根据生产设备参数、生产产品∑ 所需求的洁净度来确认。
明确净化车间生产设备的参数,制定出满意本身需求※的车间面积、层高、温湿度和洁净度要求,再找专业的公司规划出一套合理的归纳净化方☆案。
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