洁净厂房一些能量消耗特征

①洁净厂↓房是能量消耗大户，它的能量消耗包括洁净室中的生产设备用电、用热、用冷，净化空调系统的耗电、耗热和冷负荷，冷冻机组的耗电，排气处理◆装置的耗电、耗热，各种高纯物质的制取、输送耗电、耗热和冷负荷，各种动力公用】设施的用电、耗热、用冷以区照明用电等。同样面积下洁净室的能量消耗是一股写字楼的 10倍，甚至更大。电子工业洁净厂房有的需要大空问、大面积、大体量。随着科学」技术的发展，为达到电子产品生产的规模化、高可靠性能要【求，常常采用连续生产的多工序集成的大型精密生产设备，为此需布置在建筑面积大、洁净生产区与◇上下技术夹层“贯通，的大空间和组合式的大体量的洁净厂房。

②常常在电子工业洁净厂房内设置相应的输█送管道及其必需的排气处理设施，这些排气处理设施既消耗能量，又会增大洁净室的送风量。电子产品洁净厂房能量消耗大，为满足洁净生产环境所必需的空气净□化设施包括净化空调系统、供冷供热系⌒统均大量耗能，若空气洁净度■等级要求严格时，由于洁净送风量和新风量都较大，所以能量消耗较大，且全年几乎每天昼夜连续运行

③各∩种耗能设施使用的连续性。为确保各类洁净室的空气洁海度等级一致、室内ω各种功能参数的稳定以及产品生产工艺的□　需要，许多洁净室都采用连线运转的方式，通常是昼夜 24h连续运行。由于洁净室连续运行，要求供电、供冷、供热等均需按洁净室内的产品生产工艺要求或生◣产计划的安排进行调度，及★时供应各种能源。在各类洁净室的能量消耗中，除产品生产设备及与产品品种关系密切的冷却水、高纯物质、化学品和特种气体等的能量供应随产品品种、生产工艺变∞化外，在洁净室的能量消耗总量中占有较大比例的是制冷机、净化空调¤系统的电能、冷(热)能消耗。

④ 依据洁净厂房的产品生产工艺要求和环境控制要求特点，无论是在冬季、过渡季↑还是在夏季，对温度低于√ 60°的所谓 “低位热能”都有需求。例如净化空♀调系统在冬季、过渡季要求供应不同温度的热水对室外新风加热，只是不同季节的供热量是不同的。在电子产品生产用洁净厂房中大多使用大量的⌒　纯水，集成电路芯片制造、TFT-LCD 面板制造过程的纯水小时用量达数▓百吨，为获得所需品质的纯水，通常都采用反渗透(RO)技术;RO装置要求水温保持在25°C左右，常常需要供应一定温度的热↙水。对一些企业的调研表明，近年来正逐渐利用洁净▼厂房的低位热能如制冷用冷水机组的冷凝热提供 40°C左右的低温热水，替代原来的采用低压蒸汽或高温热水进行加热/预热，取得了明显的节能效益、经济效益。因此，洁净厂房既有低位热源¤的 “资源”，又有低位热能的需求，这是洁净厂房融合利㊣用低位热能降低能耗的重要特征之一。