3、空气洁净度等级

　　3 空气洁净度等级

　　3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定：

　　1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3.0.1确定。

　　表3.0.1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

　　注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

　　2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算：

　　式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数;

　　N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;

　　D——要求的粒径(μm);

　　0.1——常数，其量纲为μm。

　　3 当工艺要求粒径不止一个时，相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。

　　4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。

　　3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态，空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。

　　3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。

　　3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度ㄨ限值。

　　条文说明

　　3 空气洁净度等级

　　3.0.1 本规范修订过程中，涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望“规范应与国际接轨”，为此，本规范修订中将空气洁净度等级等效采用国际标准《洁净室及相关被◣控环境——第一部分，空气洁净度的分级》IS0 14644-1，在该标准中列出的空气洁净度整数等级(表3.0.1)及其关注的大于或等于要求粒径的允许浓度有争议时，可将式(3.0.1)得出的浓度Cn作为标准限值。由于空气洁净度等级的分级规定是洁净厂房设计建造必须╳遵循的规定，所以本条的第1款～第3款为强制性条文。

　　3.0.4 随着科学技术的发展，目前在一些高科技产品用洁净厂房中，不仅要求控制洁净室(区)内的微粒，还要求控制各类微生物、化学污染物，为此增加了本条规定。